Inhaltsverzeichnis
| F70 - Vakuum und Mechanik | 1 |
| Entwicklung der Vakuumtechnik | 2 |
| Druckbereiche | 3 |
| Freie Weglänge | 4 |
| Strömungen | 5 |
| Saugvermögen und Saugleistung | 6 |
| Beispiel zur Saugleistung | 7 |
| Widerstand eines Rohres | 8 |
| Pumpen | 9 |
| Drehschieberpumpe | 10 |
| Turbomolekularpumpe (TMP) | 12 |
| Arbeitsbereiche von Vakuumpumpen | 14 |
| Messgeräte | 15 |
| Röhrenfeder-Vakuummeter | 16 |
| Glühkathoden-Vakuummeter | 18 |
| Kriterien für Vakuumapparaturen | 19 |
| Versuchsdurchführung | 20 |
| Drehschieberpumpe | 21 |
| TMP mit Vorpumpe | 22 |
| Saugvermögen der TMP | 23 |
| Schaubild Saugvermögen (Druck) | 24 |
| Leitwert von Rohr und Blende | 25 |
| Schaubild Leitwerte (Druck) | 26 |
| Lecksuche | 27 |
| Gegenstrom-Lecksuche | 28 |
| Anwendungen der Vakuumtechnik | 29 |
| Sputtern | 30 |
| Überblick | 31 |
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F70_vakuum_und_mechanik.ppt (2,6 MB)