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F70
Vakuum und Mechanik

Vortrag

Christina Schwarz     Martin-I. Trappe

 F70_vakuum_und_mechanik.ppt (2,6 MB)



Inhaltsverzeichnis

F70 - Vakuum und Mechanik1
Entwicklung der Vakuumtechnik2
Druckbereiche3
Freie Weglänge4
Strömungen5
Saugvermögen und Saugleistung6
Beispiel zur Saugleistung7
Widerstand eines Rohres8
Pumpen9
Drehschieberpumpe10
Turbomolekularpumpe (TMP)12
Arbeitsbereiche von Vakuumpumpen14
Messgeräte15
Röhrenfeder-Vakuummeter16
Glühkathoden-Vakuummeter18
Kriterien für Vakuumapparaturen19
Versuchsdurchführung20
Drehschieberpumpe21
TMP mit Vorpumpe22
Saugvermögen der TMP23
Schaubild Saugvermögen (Druck)24
Leitwert von Rohr und Blende25
Schaubild Leitwerte (Druck)26
Lecksuche27
Gegenstrom-Lecksuche28
Anwendungen der Vakuumtechnik29
Sputtern30
Überblick31


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